Trong chế tạo, bất kỳ tác động, ma sát hoặc rung lắc nào cũng sẽ gây ra hư hỏng cho tấm wafer thậm chí là ô nhiễm hạt. Bạn lo lắng thiết bị vận hành không trơn tru? Bạn không chắc liệu thiết bị có đến hạn bảo trì hay không? Hoặc bạn cần đánh giá thiết bị đã sửa chữa có đạt độ chính xác như ban đầu không?
Hãy để VSSⅡ giúp bạn nếu bạn gặp các vấn đề trên.
- Nó có thể đo độ rung của robot/ FOUP/ stocker/ OHT… khi vận chuyển các tấm wafer và hoàn toàn có thể ghi lại độ rung trong quá trình vận hành với tốc độ lấy mẫu cao.
- VSSⅡ có thể được sử dụng để kiểm tra xem thiết bị có hoạt động trơn tru không hoặc khi nào thiết bị cần được bảo trì. Hơn nữa,
- VSSⅡ dùng để đánh giá độ rung của thiết bị trước và sau khi sửa chữa. Để đảm bảo thiết bị của bạn hoạt động trơn tru, tránh các sự cố về quy trình và hư hỏng tấm bán dẫn, hãy để VSSⅡ giúp bạn từ bây giờ.
Cảm biến đo độ rung không dây VSSⅡ có thể đo gia tốc ba trục, góc cân bằng, nhiệt độ và độ ẩm với độ dày chỉ 4m và rất nhẹ, có hai kích cỡ 8 inch và 12 inch.
Tính năng của cảm biến đo độ rung không dây:
- Đo không dây, ghi âm liên tục đến 4 giờ.
- Cảm biến tích hợp, nó có thể đo gia tốc ba trục, góc cân bằng, nhiệt độ và độ ẩm.
- Phần mềm phân tích phổ, phân tích góc, phân tích xu hướng.
Ứng dụng: AGV (Xe có hướng dẫn tự động), FOUP, OHT, máy xếp wafer, robot wafer
VN
EN