Ứng dụng của cảm biến gia tốc trong ngành công nghiệp bán dẫn

Quá trình sản xuất in thạch bản hay in lito (Lithography manufacturing) là một quy trình được sử dụng để tạo ra các mẫu trên một chất nền, điển hình là tấm bán dẫn silicon (Silicon wafer), nhằm tạo ra các mạch tích hợp IC. Đây là một quy trình quan trọng trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, nó tạo ra các tính năng nhỏ cần thiết để chế tạo bộ vi xử lý và chip nhớ hiện đại.

Cảm biến gia tốc và cảm biến lực PCB được sử dụng cho nhiều ứng dụng khác nhau nhằm tăng năng suất, đảm bảo độ chính xác và nâng cao chất lượng trong sản xuất bộ vi xử lý. Chúng tôi hợp tác chặt chẽ với khách hàng để hiểu nhu cầu riêng của họ và cung cấp các giải pháp tùy chỉnh.

Một vài ứng dụng nổi bật của cảm biến gia tốc sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn:

1. Xử lý tấm bán dẫn (wafer): các cảm biến lực được sử dụng để xử lý, đánh bóng và mài các tấm wafer, nhằm cung cấp phản hồi theo thời gian thực về các thông số xử lý nhằm ngăn ngừa hư hỏng và đảm bảo chất lượng cao của sản phẩm cuối cùng.

2. Quá trình khắc: Cảm biến lực dynamic được sử dụng để theo dõi lượng áp suất tác dụng lên bề mặt trong quá trình khắc để ngăn ngừa hư hỏng và đảm bảo sử dụng đều hóa chất. Cảm biến gia tốc đo độ rung của thiết bị để khắc đồng đều và nhất quán.

3. Quá trình cắt: Cảm biến lực được sử dụng để đảm bảo áp suất tối ưu được áp dụng bởi các công cụ cắt như cưa kim cương hoặc máy cắt laser để tránh nứt hoặc sứt mẻ tấm bán dẫn hoặc khuôn nền riêng lẻ. Gia tốc kế chính xác đo độ rung của dụng cụ để tạo điều kiện cắt sạch và chính xác.

4. Liên kết - Cảm biến lực được sử dụng trong quá trình liên kết khuôn và liên kết dây để đo lực tác dụng nhằm đảm bảo chúng được liên kết an toàn mà không làm hỏng gói hoặc chất nền.

5. Kiểm tra lần cuối: Cảm biến lực được sử dụng trong thử nghiệm đầu dò và thử nghiệm package để đảm bảo rằng các điểm tiếp xúc điện được thực hiện đúng cách mà không làm hỏng chất bán dẫn. Chúng giúp xác định bất kỳ khiếm khuyết hoặc bất thường nào do lực quá mức hoặc không đồng đều gây ra.

Các cảm biến gia tốc được sử dụng thường xuyên:

- Cảm biến gia tốc Seismic ICP
- Cảm biến lực dynamic ICP
- Bộ chuyển đổi lực
- Cảm biến gia tốc MEMS